Bu öğeden alıntı yapmak, öğeye bağlanmak için bu tanımlayıcıyı kullanınız:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Başlık: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Yazarlar: | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Yayın Tarihi: | May-2026 |
| Date of entry: | 12-May-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Anahtar kelimeler: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Koleksiyonlarda Görünür: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Bu öğenin dosyaları:
| Dosya | Açıklama | Boyut | Biçim | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Göster/Aç |
DSpace'deki bütün öğeler, aksi belirtilmedikçe, tüm hakları saklı tutulmak şartıyla telif hakkı ile korunmaktadır.
Yönetim Araçları