Utilize este identificador para referenciar este registo:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Título: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Autor: | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Data: | Mai-2026 |
| Date of entry: | 12-Mai-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Palavras-chave: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Aparece nas colecções: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Ficheiros deste registo:
| Ficheiro | Descrição | Tamanho | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Ver/Abrir |
Todos os registos no repositório estão protegidos por leis de copyright, com todos os direitos reservados.
Ferramentas administrativas