Använd denna länk för att citera eller länka till detta dokument:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Titel: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Författare: | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Utgivningsdatum: | maj-2026 |
| Date of entry: | 12-maj-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Nyckelord: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Samling: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Fulltext och övriga filer i denna post:
| Fil | Beskrivning | Storlek | Format | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Visa/Öppna |
Materialet i DSpace är upphovsrättsligt skyddat och får ej användas i kommersiellt syfte!
Administrativa verktyg