Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Titolo: Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього
Autori: Скоренький, Юрій Любомирович
Affiliation: Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя
Bibliographic reference (2015): Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026.
Data: mag-2026
Date of entry: 12-mag-2026
Country (code): UA
Place of the edition/event: Тернопіль
Parole chiave: Екстремальний ультрафіолет
EUV
мікроелектроніка
URI: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Content type: Presentation
È visualizzato nelle collezioni:Методичні матеріали з курсу фізики

File in questo documento:
File Descrizione DimensioniFormato 
skorenkyy_day_of_light_2026.pdf5,42 MBAdobe PDFVisualizza/apri


Tutti i documenti archiviati in DSpace sono protetti da copyright. Tutti i diritti riservati.

Strumenti di amministrazione