タイトル:	Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього
著者:	Скоренький, Юрій Любомирович
Affiliation:	Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя
Bibliographic reference (2015):	Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026.
発行日:	5月-2026
Date of entry:	12-5月-2026
Country (code):	UA
Place of the edition/event:	Тернопіль
キーワード:	Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка
URI:	http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Content type:	Presentation
出現コレクション:	Методичні матеріали з курсу фізики

このリポジトリに保管されているアイテムはすべて著作権により保護されています。