Veuillez utiliser cette adresse pour citer ce document :
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Titre: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Auteur(s): | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Date de publication: | mai-2026 |
| Date of entry: | 12-mai-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Mots-clés: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI/URL: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Collection(s) : | Методичні матеріали з курсу фізики |
Fichier(s) constituant ce document :
| Fichier | Description | Taille | Format | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Voir/Ouvrir |
Tous les documents dans DSpace sont protégés par copyright, avec tous droits réservés.
Outils d'administration