ชื่อเรื่อง:	Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього
ผู้แต่ง:	Скоренький, Юрій Любомирович
Affiliation:	Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя
Bibliographic reference (2015):	Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026.
วันที่เผยแพร่:	พฤษ-2026
Date of entry:	12-พฤษ-2026
Country (code):	UA
Place of the edition/event:	Тернопіль
คำสำคัญ:	Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка
URI:	http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Content type:	Presentation
ปรากฏในกลุ่มข้อมูล:	Методичні матеріали з курсу фізики

รายการทั้งหมดในระบบคิดีได้รับการคุ้มครองลิขสิทธิ์ มีการสงวนสิทธิ์เว้นแต่ที่ระบุไว้เป็นอื่น