Моля, използвайте този идентификатор за цитиране или линк към този публикация:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Заглавие: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Автори: | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Дата на Публикуване: | Май-2026 |
| Date of entry: | 12-Май-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Ключови Думи: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Показва се в Колекции: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Файлове в Този Публикация:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Изглед/Отваряне |
Публикацияте в DSpace са защитени с авторско право, с всички права запазени, освен ако не е указно друго.
Админ Инструменти