Empreu aquest identificador per citar o enllaçar aquest ítem: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Registre complet de metadades
Camp DCValorLengua/Idioma
dc.contributor.authorСкоренький, Юрій Любомирович-
dc.date.accessioned2026-05-12T15:20:12Z-
dc.date.available2026-05-12T15:20:12Z-
dc.date.issued2026-05-
dc.identifier.urihttp://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019-
dc.language.isoukuk_UA
dc.subjectЕкстремальний ультрафіолетuk_UA
dc.subjectEUVuk_UA
dc.subjectмікроелектронікаuk_UA
dc.titleСвітло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутньогоuk_UA
dc.typePresentationuk_UA
dc.coverage.placenameТернопільuk_UA
dc.contributor.affiliationТернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюяuk_UA
dc.coverage.countryUAuk_UA
dc.identifier.citation2015Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026.uk_UA
Apareix a les col·leccions:Методичні матеріали з курсу фізики

Arxius per aquest ítem:
Arxiu Descripció MidaFormat 
skorenkyy_day_of_light_2026.pdf5,42 MBAdobe PDFVeure/Obrir


Els ítems de DSpace es troben protegits per copyright, amb tots els drets reservats, sempre i quan no s’indiqui el contrari.

Eines d'Administrador