Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019Повний запис метаданих
| Поле DC | Значення | Мова |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Скоренький, Юрій Любомирович | - |
| dc.date.accessioned | 2026-05-12T15:20:12Z | - |
| dc.date.available | 2026-05-12T15:20:12Z | - |
| dc.date.issued | 2026-05 | - |
| dc.identifier.uri | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 | - |
| dc.language.iso | uk | uk_UA |
| dc.subject | Екстремальний ультрафіолет | uk_UA |
| dc.subject | EUV | uk_UA |
| dc.subject | мікроелектроніка | uk_UA |
| dc.title | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього | uk_UA |
| dc.type | Presentation | uk_UA |
| dc.coverage.placename | Тернопіль | uk_UA |
| dc.contributor.affiliation | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя | uk_UA |
| dc.coverage.country | UA | uk_UA |
| dc.identifier.citation2015 | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. | uk_UA |
| Розташовується у зібраннях: | Методичні матеріали з курсу фізики | |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.
Інструменти адміністратора