Defnyddiwch y dynodwr hwn i ddyfynnu neu i gysylltu â'r eitem hon: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Teitl: Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього
Awduron: Скоренький, Юрій Любомирович
Affiliation: Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя
Bibliographic reference (2015): Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026.
Dyddiad Cyhoeddi: May-2026
Date of entry: 12-May-2026
Country (code): UA
Place of the edition/event: Тернопіль
Allweddeiriau: Екстремальний ультрафіолет
EUV
мікроелектроніка
URI: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Content type: Presentation
Ymddengys yng Nghasgliadau:Методичні матеріали з курсу фізики

Ffeiliau yn yr Eitem Hon:
Ffeil Disgrifiad MaintFformat 
skorenkyy_day_of_light_2026.pdf5,42 MBAdobe PDFGweld/Agor


Diogelir eitemau yn DSpace gan hawlfraint, a chedwir pob hawl, onibai y nodir fel arall.

Offer Gweinyddol