Por favor use este identificador para citas ou ligazóns a este item: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Título: Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього
Authors: Скоренький, Юрій Любомирович
Affiliation: Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя
Bibliographic reference (2015): Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026.
Data de edición: May-2026
Date of entry: 12-May-2026
Country (code): UA
Place of the edition/event: Тернопіль
Palabras chave: Екстремальний ультрафіолет
EUV
мікроелектроніка
URI: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019
Content type: Presentation
Aparece nas ColecciónsМетодичні матеріали з курсу фізики

Arquivos neste item
Arquivo Descrición TamañoFormato 
skorenkyy_day_of_light_2026.pdf5,42 MBAdobe PDFVer/abrir


Todos os documentos en Dspace estan protexidos por copyright, con todos os dereitos reservados

Ferramentas administrativas