Bitte benutzen Sie diese Kennung, um auf die Ressource zu verweisen:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Titel: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Autor(en): | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Erscheinungsdatum: | Mai-2026 |
| Date of entry: | 12-Mai-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Stichwörter: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Enthalten in den Sammlungen: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Dateien zu dieser Ressource:
| Datei | Beschreibung | Größe | Format | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Öffnen/Anzeigen |
Alle Ressourcen in diesem Repository sind urheberrechtlich geschützt, soweit nicht anderweitig angezeigt.
Administrationswerkzeuge