Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Título : | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Autor : | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Affiliation: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Bibliographic reference (2015): | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Fecha de publicación : | may-2026 |
| Date of entry: | 12-may-2026 |
| Country (code): | UA |
| Place of the edition/event: | Тернопіль |
| Palabras clave : | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI : | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Content type: | Presentation |
| Aparece en las colecciones: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Ficheros en este ítem:
| Fichero | Descripción | Tamaño | Formato | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Visualizar/Abrir |
Los ítems de DSpace están protegidos por copyright, con todos los derechos reservados, a menos que se indique lo contrario.
Herramientas de Administrador