Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019| Назва: | Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього |
| Автори: | Скоренький, Юрій Любомирович |
| Приналежність: | Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя |
| Бібліографічне посилання: | Юрій Скоренький. Світло, яке друкує комп'ютери або EUV, ASML, TSMC та інші абревіатури майбутнього. ТНТУ, 2026. |
| Дата публікації: | тра-2026 |
| Дата внесення: | 12-тра-2026 |
| Країна (код): | UA |
| Місце видання, проведення: | Тернопіль |
| Теми: | Екстремальний ультрафіолет EUV мікроелектроніка |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/52019 |
| Тип вмісту: | Presentation |
| Розташовується у зібраннях: | Методичні матеріали з курсу фізики |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| skorenkyy_day_of_light_2026.pdf | 5,42 MB | Adobe PDF | Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.
Інструменти адміністратора