Link lub cytat.
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017
| Tytuł: | Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні |
| Authors: | Коровицький, А. М. Колядинський, І. М. Сахарчук, В. В. Мирончук, Г. Л. |
| Akcesoria: | Луцький національний технічний університет, Волинський національний університет ім. Лесі Українки, м. Луцьк, Україна |
| Cytat: | Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні / А. М. Коровицький, І. М. Колядинський, В. В. Сахарчук, Г. Л. Мирончук // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 177-179. |
| Bibliographic description: | Korovytskyi A. M., Koliadynskyi I. M., Sakharchuk V. V., Myronchuk H. L. (2012) Optymizatsiia tekhnolohii otrymannia stabilnoho plazmovoho rozriadu u vakuumnii kameri VUP5M pry mahnetronnomu rozporoshenni. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 177-179 [in Ukrainian]. |
| Część publikacji: | Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Konferencja/wydarzenie: | Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Journal/kolekcja: | Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Data wydania: | 20-wrz-2012 |
| Date of entry: | 27-sty-2016 |
| Wydawca: | ТНТУ TNTU |
| Place edycja: | Україна, Тернопіль Ukraine, Ternopil |
| Zakresu czasowego: | 20-22 вересня 2012 року 20-22 September 2012 |
| UDC: | 541.55 |
| Zakres stron: | 177-179 |
| Główna strona: | 177 |
| Strona końcowa: | 179 |
| URI: | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017 |
| Właściciel praw autorskich: | © Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р. |
| Związane URL literatura: | http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf |
| Wykaz piśmiennictwa: | 1. Б.С. Данилин, В.К. Сырчин, Магнетронные распылительные системы (Радио и связь, Москва, 1982), 72 с. 2. Miyoshi Kimura / – Режим доступу: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Режим доступу: www.int-24.com |
| References: | 1. B.S. Danilin, V.K. Syrchin, Mahnetronnye raspylitelnye sistemy (Radio i sviaz, Moskva, 1982), 72 p. 2. Miyoshi Kimura, Access mode: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Access mode: www.int-24.com |
| Typ zawartości: | Article |
| Występuje w kolekcjach: | Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012) |
Pliki tej pozycji:
| Plik | Opis | Wielkość | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.pdf | 2,13 MB | Adobe PDF | Przeglądanie/Otwarcie | |
| ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.djvu | 196,93 kB | DjVu | Przeglądanie/Otwarcie | |
| ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179__COVER.png | 511,66 kB | image/png | Przeglądanie/Otwarcie |
Pozycje DSpace są chronione prawami autorskimi