Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017
| Назва: | Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні |
| Автори: | Коровицький, А. М. Колядинський, І. М. Сахарчук, В. В. Мирончук, Г. Л. |
| Приналежність: | Луцький національний технічний університет, Волинський національний університет ім. Лесі Українки, м. Луцьк, Україна |
| Бібліографічний опис: | Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні / А. М. Коровицький, І. М. Колядинський, В. В. Сахарчук, Г. Л. Мирончук // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 177-179. |
| Bibliographic description: | Korovytskyi A. M., Koliadynskyi I. M., Sakharchuk V. V., Myronchuk H. L. (2012) Optymizatsiia tekhnolohii otrymannia stabilnoho plazmovoho rozriadu u vakuumnii kameri VUP5M pry mahnetronnomu rozporoshenni. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 177-179 [in Ukrainian]. |
| Є частиною видання: | Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Конференція/захід: | Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Журнал/збірник: | Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Дата публікації: | 20-вер-2012 |
| Дата внесення: | 27-січ-2016 |
| Видавництво: | ТНТУ TNTU |
| Місце видання, проведення: | Україна, Тернопіль Ukraine, Ternopil |
| Часове охоплення: | 20-22 вересня 2012 року 20-22 September 2012 |
| УДК: | 541.55 |
| Діапазон сторінок: | 177-179 |
| Початкова сторінка: | 177 |
| Кінцева сторінка: | 179 |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017 |
| Власник авторського права: | © Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р. |
| URL-посилання пов’язаного матеріалу: | http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf |
| Перелік літератури: | 1. Б.С. Данилин, В.К. Сырчин, Магнетронные распылительные системы (Радио и связь, Москва, 1982), 72 с. 2. Miyoshi Kimura / – Режим доступу: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Режим доступу: www.int-24.com |
| References: | 1. B.S. Danilin, V.K. Syrchin, Mahnetronnye raspylitelnye sistemy (Radio i sviaz, Moskva, 1982), 72 p. 2. Miyoshi Kimura, Access mode: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Access mode: www.int-24.com |
| Тип вмісту: | Article |
| Розташовується у зібраннях: | Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012) |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.pdf | 2,13 MB | Adobe PDF | Переглянути/відкрити | |
| ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.djvu | 196,93 kB | DjVu | Переглянути/відкрити | |
| ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179__COVER.png | 511,66 kB | image/png | Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.