1. ELARTU — Інституційний репозитарій ТНТУ імені Івана Пулюя
2. Матеріали конференцій, семінарів, читань
3. 2012
4. Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012)

Tittel:	Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні
Authors:	Коровицький, А. М. Колядинський, І. М. Сахарчук, В. В. Мирончук, Г. Л.
Affiliation:	Луцький національний технічний університет, Волинський національний університет ім. Лесі Українки, м. Луцьк, Україна
Bibliographic description (Ukraine):	Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні / А. М. Коровицький, І. М. Колядинський, В. В. Сахарчук, Г. Л. Мирончук // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 177-179.
Bibliographic description (International):	Korovytskyi A. M., Koliadynskyi I. M., Sakharchuk V. V., Myronchuk H. L. (2012) Optymizatsiia tekhnolohii otrymannia stabilnoho plazmovoho rozriadu u vakuumnii kameri VUP5M pry mahnetronnomu rozporoshenni. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 177-179 [in Ukrainian].
Is part of:	Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012
Conference/Event:	Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012
Journal/Collection:	Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012
Utgivelsesdato:	20-sep-2012
Date of entry:	27-jan-2016
Forlag:	ТНТУ TNTU
Place of the edition/event:	Україна, Тернопіль Ukraine, Ternopil
Temporal Coverage:	20-22 вересня 2012 року 20-22 September 2012
UDC:	541.55
Page range:	177-179
Start page:	177
End page:	179
URI:	http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017
Copyright owner:	© Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р.
URL for reference material:	http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf
References (Ukraine):	1. Б.С. Данилин, В.К. Сырчин, Магнетронные распылительные системы (Радио и связь, Москва, 1982), 72 с. 2. Miyoshi Kimura / – Режим доступу: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Режим доступу: www.int-24.com
References (International):	1. B.S. Danilin, V.K. Syrchin, Mahnetronnye raspylitelnye sistemy (Radio i sviaz, Moskva, 1982), 72 p. 2. Miyoshi Kimura, Access mode: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Access mode: www.int-24.com
Content type:	Article
Vises i samlingene:	Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012)

Alle innførsler i DSpace er beskyttet av copyright