1. ELARTU — Інституційний репозитарій ТНТУ імені Івана Пулюя
  2. Матеріали конференцій, семінарів, читань
  3. 2012
  4. Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012)
Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017

Повний запис метаданих
Поле DCЗначенняМова
dc.contributor.authorКоровицький, А. М.uk
dc.contributor.authorКолядинський, І. М.uk
dc.contributor.authorСахарчук, В. В.uk
dc.contributor.authorМирончук, Г. Л.uk
dc.coverage.temporal20-22 вересня 2012 рокуuk
dc.coverage.temporal20-22 September 2012uk
dc.date.accessioned2016-01-27T23:44:44Z-
dc.date.available2016-01-27T23:44:44Z-
dc.date.created2012-09-20uk
dc.date.issued2012-09-20uk
dc.identifier.citationОптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні / А. М. Коровицький, І. М. Колядинський, В. В. Сахарчук, Г. Л. Мирончук // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 177-179.uk
dc.identifier.urihttp://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017-
dc.format.extent177-179uk
dc.language.isoukuk
dc.publisherТНТУuk
dc.publisherTNTUuk
dc.relation.ispartofМатеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012uk
dc.relation.urihttp://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdfuk
dc.titleОптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенніuk
dc.typeArticleuk
dc.rights.holder© Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р.uk
dc.coverage.placenameУкраїна, Тернопільuk
dc.coverage.placenameUkraine, Ternopiluk
dc.subject.udc541.55uk
dc.relation.references1. Б.С. Данилин, В.К. Сырчин, Магнетронные распылительные системы (Радио и связь, Москва, 1982), 72 с.uk
dc.relation.references2. Miyoshi Kimura / – Режим доступу: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdfuk
dc.relation.references3. Режим доступу: www.int-24.comuk
dc.relation.referencesen1. B.S. Danilin, V.K. Syrchin, Mahnetronnye raspylitelnye sistemy (Radio i sviaz, Moskva, 1982), 72 p.uk
dc.relation.referencesen2. Miyoshi Kimura, Access mode: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdfuk
dc.relation.referencesen3. Access mode: www.int-24.comuk
dc.identifier.citationenKorovytskyi A. M., Koliadynskyi I. M., Sakharchuk V. V., Myronchuk H. L. (2012) Optymizatsiia tekhnolohii otrymannia stabilnoho plazmovoho rozriadu u vakuumnii kameri VUP5M pry mahnetronnomu rozporoshenni. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 177-179 [in Ukrainian].uk
dc.contributor.affiliationЛуцький національний технічний університет,uk
dc.contributor.affiliationВолинський національний університет ім. Лесі Українки, м. Луцьк, Українаuk
dc.citation.journalTitleМатеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012uk
dc.citation.spage177uk
dc.citation.epage179uk
dc.citation.conferenceВсеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012uk
Розташовується у зібраннях:Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012)

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.pdf2,13 MBAdobe PDFПереглянути/відкрити
ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.djvu196,93 kBDjVuПереглянути/відкрити
ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179__COVER.png511,66 kBimage/pngПереглянути/відкрити
Показати базовий опис матеріалу Перегляд статистики


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.