Використання нанотехнологій для виготовлення індуктивних елементів електронних схем

Abstract

АНОТАЦІЯ На основі комп’ютерної моделі проведеного дослідження магнітних, електричних та теплових характеристик котушки індуктивності. Представлений розподіл магнітного та електричного поля та показано вплив частоти струму на характер їх розподілу. На основі температурного розрахунку показано, що основним джерелом втрат в індуктивному елементі є вихрові струми у феромагнетику та нерівномірний розподіл густини струму в провіднику викликаний скін-ефектом. Показано що комбінація з двох магнітних матеріалів дає можливість досягнути більшої індуктивності при збережені малих геометричних розмірів. Приведено технологію виготовлення мікроструктур методом фотолітографії. Проаналізовано основні методи отримання тонкоплівкових структур, та показано що метод іонного осадження дає можливість забезпечити високу чистоту отриманих структур.

ANNOTATION On the basis of computer model studies of magnetic, electric and thermal characteristics of the inductor. Presents the distribution of magnetic and electric fields and shows the effect of frequency on the nature of their distribution. From the temperature calculation shows that the main source of losses in the inductive element has eddy currents in the ferromagnetic and non-uniform current density distribution in the conductor due to skin effect. It is proved that the combination of two magnetic materials provides an opportunity to achieve greater inductivist while maintaining small geometrical dimensions of the structure. Investigated the combination of two magnetic materials makes it possible to achieve greater inductance stored in small geometric dimensions of the structure.