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| Вплив термічного відпалу на поверхню монокристалу карбіду кремнію 6H-SiC | 212 |
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| Вплив термічного відпалу на поверхню монокристалу карбіду кремнію 6H-SiC | 1 | 8 | 4 | 2 | 41 | 0 | 1 |
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