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| Вплив термічного відпалу на поверхню монокристалу карбіду кремнію 6H-SiC | 514 |
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| Вплив термічного відпалу на поверхню монокристалу карбіду кремнію 6H-SiC | 4 | 7 | 20 | 7 | 102 | 26 | 0 |
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| TSTUSJ_2000v5n2_Bilous_M-The_influence_of_the_heat_108-111.pdf | 62 |
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