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Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні | 395 |
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Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні | 1 | 1 | 11 | 8 | 2 | 5 | 2 |
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ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.pdf | 93 |
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