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Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні | 365 |
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Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні | 0 | 0 | 7 | 7 | 40 | 16 | 3 |
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ConfAPTEPF_2012_Korovitskii_A_M-Optymizatsiia_tekhnolohii_177-179.pdf | 90 |
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