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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 478 |
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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 11 | 16 | 47 | 4 | 6 | 38 | 16 |
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