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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 508 |
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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 47 | 4 | 6 | 38 | 27 | 19 | 0 |
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