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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 338 |
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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 0 | 4 | 13 | 2 | 29 | 13 | 4 |
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