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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 420 |
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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 4 | 2 | 11 | 16 | 47 | 4 | 2 |
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