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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 255 |
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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 5 | 2 | 9 | 10 | 8 | 3 | 0 |
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