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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 292 |
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| Автоматизована установка для вимірювання кінетичних коефіцієнтів тонких плівок | 2 | 5 | 0 | 4 | 13 | 2 | 0 |
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