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| Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 341 |
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| Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 3 | 2 | 3 | 15 | 2 | 1 | 8 |
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| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.pdf | 136 |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.djvu | 44 |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32__COVER.png | 18 |
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