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| Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 465 |
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| Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 1 | 20 | 49 | 27 | 12 | 22 | 2 |
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| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.pdf | 149 |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.djvu | 49 |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32__COVER.png | 20 |
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