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| Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 520 |
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| Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 27 | 12 | 22 | 17 | 30 | 8 | 2 |
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| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.pdf | 156 |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.djvu | 52 |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32__COVER.png | 20 |
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