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Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 253 |
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Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур | 34 | 0 | 2 | 3 | 0 | 5 | 0 |
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ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.pdf | 116 |
ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.djvu | 32 |
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