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| Оптимізація технології вакуумного нанесення омічних контактів до арсеніду галлія | 350 |
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| Оптимізація технології вакуумного нанесення омічних контактів до арсеніду галлія | 1 | 1 | 1 | 29 | 19 | 36 | 12 |
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