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| Моделювання концентраційних профілів процессу дифузії в багатошарових плівках | 329 |
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| Моделювання концентраційних профілів процессу дифузії в багатошарових плівках | 0 | 0 | 0 | 1 | 38 | 8 | 0 |
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