Please use this identifier to cite or link to this item: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/1029

Title: Розробка VHDL-AMS моделі мікромеханічної складової MEMS сенсора кутової швидкості
Other Titles: Development of VHDL-AMS Model of Micromechanical Part of MEMS Angualar Velocity Sensor
Authors: Головатий, Андрій Ігорович
Issue Date: 2011
Date of entry: 16-May-2011
Publisher: Тернопільський національний технічний університет ім. Івана Пулюя
Place of the edition/event: Тернопіль, Україна
UDC: 519.6
Keywords: MEMS Simulation
VHDL-AMS model
MEMS technologies
MEMS angular velocity sensor
gyroscope
Abstract: In the paper, VHDL-AMS model of micromechanical part of MEMS angular velocity sensor was developed. The developed model allows to simulate variations of Coriolis acceleration, displacement, capacity and current depending on the applied angular velocity, and also to make the functioning analysis of the device on the schematic level of computer-aided design.
URI: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/1029
Content type: Article
Appears in Collections:Ⅰ науково-технічна конференція „Інформаційні моделі, системи та технології“ (2011)



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.