Please use this identifier to cite or link to this item: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/27603

Title: Розрахунок і конструювання робочих органів мікромеханічних гіроскопів (давачів кутових швидкостей)
Other Titles: Modeling and design of working elements of micromechanical gyroscopes (angular rate sensors)
Authors: Головатий, А.
Holovatyy, A.
Affiliation: Національний університет “Львівська політехніка”
Bibliographic description (Ukraine): Головатий А. Розрахунок і конструювання робочих органів мікромеханічних гіроскопів (давачів кутових швидкостей) / А. Головатий // Вісник ТДТУ. — Т. : ТДТУ, 2007. — Том 12. — № 4. — С. 20–25. — (Механіка та матеріалознавство).
Bibliographic description (International): Holovatyy A. (2007) Rozrakhunok i konstruiuvannia robochykh orhaniv mikromekhanichnykh hiroskopiv (davachiv kutovykh shvydkostei) [Modeling and design of working elements of micromechanical gyroscopes (angular rate sensors)]. Scientific Journal of TSTU (Tern.), vol. 12, no 4, pp. 20-25 [in Ukrainian].
Is part of: Вісник Тернопільського державного технічного університету, 4 (12), 2007
Scientific Journal of the Ternopil State Technical University, 4 (12), 2007
Journal/Collection: Вісник Тернопільського державного технічного університету
Issue: 4
Volume: 12
Issue Date: 27-Nov-2007
Submitted date: 22-Oct-2007
Publisher: ТДТУ
TSTU
UDC: 519.711
Number of pages: 6
Page range: 20-25
Start page: 20
End page: 25
Abstract: Запропоновано математичну модель мікромеханічного вібраційного гіроскопа камертонного типу. Для підвищення ефективності проектування МЕМС гіроскопа створено алгоритм визначення параметрів робочого органа мікромеханічного гіроскопа. Сформульовано задачі системного рівня проектування і запропоновано шляхи їх розв’язання. Досліджено взаємозв’язок конструктивних параметрів і встановлено, що їх оптимальні значення залежать від необхідних технічних характеристик гіроскопа.
The mathematical model of micromechanical vibratory tuning-fork gyroscope is proposed. For increasing the efficiency of the MEMS gyroscope design, the algorithm for calculation of working elements of the micromechanical gyroscope has been created. The system-level problems of designing are defined and their solutions are proposed. The interdependence of the constructional elements have been researched, and it was established that their optimal values depend on the required technical characteristics of the gyroscope.
URI: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/lib/27603
ISSN: 1727-7108
Copyright owner: © Тернопільський державний технічний університет імені Івана Пулюя, 2008
URL for reference material: http://en.wikipedia.org/wiki/Vibrating_structure_gyroscope
References (Ukraine): 1. Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Сommercialization Status. Inven Sense, 2003.
2. N. Yazdi et al., Micromachined Inertial Sensors, Proc.IEEE, August 1998, pp. 1640-1659.
3. http://en.wikipedia.org/wiki/Vibrating_structure_gyroscope .
4. M. Kranz and G.K. Fedder, “Design, simulation, and implementation of two novel micromechanical vibratory-rate gyroscopes”, Report, Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, May, 1998.
5. Ed Kolesar. Fundamental MEMS Processes and Devices. Texas Christian University. Department of Engineering, pp. 14.
6. W. Merlijn van Spengen1, Tjerk H. Oosterkamp. A sensitive electronic capacitance measurement system to measure comb drive motion of surface micromachined MEMS devices. Leiden University, 2006, pp. 13.
7. А. Гультяев. MATLAB 5.2. Имитационное моделирование в среде Windows. Санкт-Петербург, “КОРОНА принт”, 1999.
8. Dr. Lynn Fuller, Motorola Professor. MEMS Capacitor Sensors and Actuators. Rochester Institute of Technology, Microelectronic Engineering. May, 2007, pp. 34.
References (International): 1. Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Sommercialization Status. Inven Sense, 2003.
2. N. Yazdi et al., Micromachined Inertial Sensors, Proc.IEEE, August 1998, pp. 1640-1659.
3. http://en.wikipedia.org/wiki/Vibrating_structure_gyroscope .
4. M. Kranz and G.K. Fedder, "Design, simulation, and implementation of two novel micromechanical vibratory-rate gyroscopes", Report, Department of Electrical and Computer Engineering, Carnegie Mellon University, May, 1998.
5. Ed Kolesar. Fundamental MEMS Processes and Devices. Texas Christian University. Department of Engineering, pp. 14.
6. W. Merlijn van Spengen1, Tjerk H. Oosterkamp. A sensitive electronic capacitance measurement system to measure comb drive motion of surface micromachined MEMS devices. Leiden University, 2006, pp. 13.
7. A. Hultiaev. MATLAB 5.2. Imitatsionnoe modelirovanie v srede Windows. Sankt-Peterburh, "KORONA print", 1999.
8. Dr. Lynn Fuller, Motorola Professor. MEMS Capacitor Sensors and Actuators. Rochester Institute of Technology, Microelectronic Engineering. May, 2007, pp. 34.
Content type: Article
Appears in Collections:Вісник ТДТУ, 2007, том 12, № 4



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.