Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/7948
| Назва: | Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур |
| Автори: | Яворський, Ярослав Яворський, Ростислав |
| Приналежність: | Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника, м. Івано-Франківськ, Україна |
| Бібліографічний опис: | Яворський Я. Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур / Ярослав Яворський, Ростислав Яворський // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 30-32. |
| Bibliographic description: | Iavorskii Ia., Iavorskii R. (2012) Konstruktyvni osoblyvosti vakuumnykh mikropichok dlia osadzhennia tonkykh plivok i nanostruktur. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 30-32 [in Ukrainian]. |
| Є частиною видання: | Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Конференція/захід: | Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Журнал/збірник: | Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012 |
| Дата публікації: | 20-вер-2012 |
| Дата внесення: | 27-січ-2016 |
| Видавництво: | ТНТУ TNTU |
| Місце видання, проведення: | Україна, Тернопіль Ukraine, Ternopil |
| Часове охоплення: | 20-22 вересня 2012 року 20-22 September 2012 |
| УДК: | 621.315.529 |
| Діапазон сторінок: | 30-32 |
| Початкова сторінка: | 30 |
| Кінцева сторінка: | 32 |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/7948 |
| Власник авторського права: | © Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р. |
| Тип вмісту: | Article |
| Розташовується у зібраннях: | Всеукраїнська наукова конференція „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ (2012) |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.pdf | 1,13 MB | Adobe PDF | Переглянути/відкрити | |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32.djvu | 112,28 kB | DjVu | Переглянути/відкрити | |
| ConfAPTEPF_2012_Iavorskii_Ia-Konstruktyvni_osoblyvosti_30-32__COVER.png | 506,4 kB | image/png | Переглянути/відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.