Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/12121

Назва: Комп'ютерне моделювання процесів гетерування
Автори: Москаль, Д. М.
Герасимчук, Станіслав Юрійович
Приналежність: Тернопільська філія Європейського університету
Бібліографічний опис: Москаль Д. М. Комп'ютерне моделювання процесів гетерування / Д. М. Москаль, С. Ю. Герасимчук // Матеріали наукового семінару, присвяченого 20-річчю Українського фізичного товариства, 24-25 листопада 2010 року — Т. : ТНТУ, 2010 — С. 12-14.
Bibliographic description: Moskal D. M., Herasimchuk S. Iu. (2010) Kompiuterne modeliuvannia protsesiv heteruvannia. Proceedings of the workshop dedicated to the the 20th anniversary of Ukrainian Physical Society (Tern., 24-25 November 2010), pp. 12-14 [in Ukrainian].
Є частиною видання: Матеріали наукового семінару, присвяченого 20-річчю Українського фізичного товариства
Proceedings of the workshop dedicated to the the 20th anniversary of Ukrainian Physical Society
Конференція/захід: Науковий семінар, присвячений 20-річчю Українського фізичного товариства
Журнал/збірник: Матеріали наукового семінару, присвяченого 20-річчю Українського фізичного товариства
Дата публікації: 24-лис-2010
Дата внесення: 21-лют-2016
Видавництво: ТНТУ
TNTU
Місце видання, проведення: Україна, Тернопіль
Ukraine, Ternopil
Часове охоплення: 24-25 листопада 2010 року
24-25 November 2010
Діапазон сторінок: 12-14
Початкова сторінка: 12
Кінцева сторінка: 14
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/12121
Власник авторського права: © Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2011
Перелік літератури: 1. Литовченко В.Г. Эффект анизотропного гетерирования в планарных структурах / В.Г. Литовченко, Б.Н. Романюк // ФТП.- 1983.- Т. 17, №1.- С. 50-53.
2. Исследование гетерационных характеристик пленок кремния, выращенных с использованием радиационных гетерных методов: (Заключительный отчет).- Тернопольский медицинский институт (руководитель темы Д.М. Москаль).- Тернополь, 1986. - 50 с.
3. Bronner С.В., Plummer J.D. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc.- 1995.- Vol. 36.- P.49.
4. Болтакс Б.И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. - Л.: Наука, 1975. - 110 с.
5. Атомная диффузия в полупроводниках / (под ред. А.Шоу) Гл. 5. Диффузия в кремнии и германии. - M.: Мир, 1975. - С.248.
References: 1. Litovchenko V.H. Effekt anizotropnoho heterirovaniia v planarnykh strukturakh, V.H. Litovchenko, B.N. Romaniuk, FTP, 1983, V. 17, No 1, P. 50-53.
2. Issledovanie heteratsionnykh kharakteristik plenok kremniia, vyrashchennykh s ispolzovaniem radiatsionnykh heternykh metodov: (Zakliuchitelnyi otchet), Ternopolskii meditsinskii institut (rukovoditel temy D.M. Moskal), Ternopol, 1986, 50 p.
3. Bronner S.V., Plummer J.D., Mat. Res. Soc. Symp. Proc, 1995, Vol. 36, P.49.
4. Boltaks B.I. Diffuziia i tochechnye defekty v poluprovodnikakh, L., Nauka, 1975, 110 p.
5. Atomnaia diffuziia v poluprovodnikakh, (ed. A.Shou) Hl. 5. Diffuziia v kremnii i hermanii, M., Mir, 1975, P.248.
Тип вмісту: Article
Розташовується у зібраннях:Науковий семінар, присвячений 20-річчю Українського фізичного товариства (2010)



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.