Розрахунок та конструювання пружних систем мікроелектромеханічних (МЕМС) гіроскопів

Abstract

У даній роботі розроблено методику проектування підвісу робочого органа МЕМС гіроскопа, а саме конструктивних розмірів пружин у залежності від необхідних параметрів гіроскопа, таких як товщина, ширина пружин та їх довжина, тобто від габаритних розмірів гіроскопа. Розроблена методика дозволяє створити підсистему автоматизованого проектування системи пружного підвісу МЕМС гіроскопа.

In this work, design technique of the working organ suspension of MEMS gyroscope, that is springs dimensions depending on the required gyroscope performance, such as the thickness and the width of the springs and their length, hence the overall dimensions of the gyroscope, is developed. The developed technique allows to create computer-aided design subsystem of the spring elements of the MEMS gyroscope.